тонкопленочный толщиномер играет ключевую роль во многих областях, связанных с применением тонкой пленки, и его принцип эффективного измерения заслуживает глубокого изучения.

Обычные тонкопленочные толщиномеры используют различные принципы измерения для достижения эффективных и точных измерений. Принцип оптических измерений является одним из важных способов. Толщиномер, основанный на принципе оптической интерферометрии, излучает свет определенной длины волны на поверхность пленки, и свет отражается отдельно на верхней и нижней поверхностях пленки, и эти два луча отражаются, создавая интерференцию. Поскольку пленка различной толщины создает разность фаз отраженного света, толщина пленки может быть точно рассчитана с помощью соответствующих оптических формул путем точного обнаружения изменений интерференционных полос. Этот метод отлично подходит для измерения прозрачных или полупрозрачных пленок, быстрых и точных измерений и позволяет получать точные данные за короткий промежуток времени.

Принцип конденсаторных измерений также более распространен. Этот принцип использует свойства конденсатора, размещая пленку между двумя пластинами, которые используются в качестве диэлектрика. Поскольку изменение толщины пленки может привести к изменению конденсаторной емкости конденсатора, толщина пленки может быть быстро получена путем точного измерения емкости и на основе заранее установленной модели соответствия между емкостью и толщиной. Конденсаторный толщиномер имеет более широкую адаптивность к материалу пленки и может обеспечить бесконтактное измерение, не наносит ущерба пленке, на высокоскоростной производственной линии может эффективно выполнять задачу измерения толщины.

Кроме того, принципы ультразвуковых измерений также широко используются. Ультразвуковой толщиномер излучает ультразвуковые импульсы на тонкую пленку, которая отражается, когда ультразвук сталкивается с верхней и нижней поверхностями пленки, и прибор может рассчитать толщину тонкой пленки путем точного измерения времени распространения ультразвука в тонкой пленке в сочетании с известной скоростью распространения ультразвука в этом пленочном материале. Этот метод применим к тонкой пленке из различных материалов, процесс измерения быстрый и может в режиме реального времени иметь обратную связь с результатами измерения, эффективно удовлетворяя потребности в эффективных измерениях в процессе производства.